¡Ý ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ Àü¹ÝÀûÀÎ ÀÌÇØ
¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î´Â ¼ÕÅ鸸ÅÀ̳ª ÀÛ°í ¾ãÀº ½Ç¸®ÄÜ Ä¨¿¡ Áö³ªÁö ¾ÊÁö¸¸ ±× ¾È¿¡´Â ¼ö¸¸ °³¿¡¼ õ¸¸°³ ÀÌ»óÀÇ ÀüÀÚºÎÇ°µé(Æ®·£Áö½ºÅÍ, ´ÙÀÌ¿Àµå, ÀúÇ×, ijÆнÃÅÍ)ÀÌ °¡µæ µé¾îÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀüÀÚºÎÇ°µéÀÌ ¼·Î Á¤È®ÇÏ°Ô ¿¬°áµµ¾î ³í¸®°ÔÀÌÆ®¿Í ±â¾ï¼ÒÀÚ ¿ªÇÒÀ» ÇϰԵǴ °ÍÀÌ´Ù.
Ĩ ¼ÓÀÇ ÀÛÀº ºÎÇ°µéÀº ÇϳªÇϳª µû·Î ¸¸µé¾î¼ Á¶¸³µÇ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ±×°ÍÀº ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù. ´ë½Å ºÎÇ°°ú ±× Á¢¼ÓºÎºÐµéÀ» ¸ðµÎ ¹Ì¼¼ÇÏ°í º¹ÀâÇÑ ÆÐÅÏ(¹®¾ç)À¸·Î ¸¸µé¾î¼ ¿©·¯ ÃþÀÇ Àç·á ¼Ó¿¡ ±×·Á ³Ö´Â ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù. ±×·¯±â À§Çؼ´Â ¹®¾çÀ» »çÁøÀ¸·Î Âï¾î Ãà¼ÒÇÑ ¸¶½ºÅ©¸¦ ¸¶Ä¡ »çÁøÀÎÈ ÇÒ ¶§ÀÇ Çʸ§Ã³·³ »ç¿ëÇÑ´Ù.
¡Ý¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶ ¹× ȸ·Î¼³°è
1. ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå :°í¼øµµ·Î Á¤Á¦µÈ ½Ç¸®ÄÜ¿ë À¶¾×¿¡ SPEED °áÁ¤À» Á¢ÃË, ȸÀü½ÃÅ°¸é¼ ´Ü°áÁ¤ ±Ô¼ÒºÀ(INGOT)À» ¼ºÀå½ÃÅ´.
2. ±Ô¼ÒºÀ Àý´Ü :¼ºÀåµÈ ±Ô¼ÒºÀÀ» ±ÕÀÏÇÑ µÎ²²ÀÇ ¾ãÀº ¿þÀÌÆÛ·Î À߶󳽴Ù. ¿þÀÌÆÛÀÇ Å©±â´Â ±Ô¼Ò ºÀÀÇ ±¸°æ¿¡ µû¶ó 3", 4", 6",8"·Î ¸¸µé¾îÁö¸ç »ý»ê¼ºÇâ»óÀ» À§ÇØ Á¡Á¡ ´ë±¸°æÈ °æÇâÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖÀ½.
3. ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¬¸¶ : ¿þÀÌÆÛÀÇ ÇÑÂÊ ¸éÀ» ¿¬¸¶ÇÏ¿© °Å¿ï ¸éó·³ ¸¸µé¾î ÁÖ¸ç, ÀÌ ¿¬¸¶µÈ ¸é¿¡ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» ±×·Á ³Ö°Ô µÊ.
4. ȸ·Î ¼³°è : CAD(Com-puter Aided Design)½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÀüÀÚȸ·Î¿Í ½ÇÁ¦ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ±×·ÁÁú ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» ¼³°èÇÔ.
5. MASK(RETICLE)Á¦ÀÛ : ¼³°èµÈ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» E-beam ¼¸®·Î À¯¸®ÆÇ À§¿¡ ±×·Á MASK(RETICLE)¸¦ ¸¸µë
|